Be pirmiau minėtų pagrindinių pritaikymų, puslaidininkiniai vakuuminiai siurbliai taip pat turi šias funkcijas:
1. Didelio-efektyvumo siurbimo pajėgumai: puslaidininkiniuose vakuuminiuose siurbliuose paprastai naudojamos pažangios technologijos ir dizainas, užtikrinantys, kad reikiamas vakuumo lygis būtų greitai pasiektas, o tai pagerina gamybos efektyvumą.
2. Stabilus vakuumo valdymas: jie gali tiksliai valdyti vakuumo lygį proceso kameroje, kad atitiktų skirtingų proceso srautų reikalavimus. Tai labai svarbu norint užtikrinti gaminio našumą ir patikimumą.
3. Mažas triukšmas ir mažas energijos suvartojimas: puslaidininkiniai vakuuminiai siurbliai sukurti atsižvelgiant į triukšmo ir energijos suvartojimo mažinimą, kad atitiktų šiuolaikinės gamybos aplinkos ir energijos taupymo{1} reikalavimus.
4. Paprasta priežiūra ir valdymas: dėl paprasto dizaino ir{1}}patogaus vartotojo sąsajos puslaidininkinius vakuuminius siurblius lengva naudoti ir prižiūrėti, todėl įmonėms sumažėja veiklos sąnaudos.
